在加工微小精密零件時，必須充分考慮到可能使裝配系統(tǒng)產(chǎn)生定位誤差的因素，控制裝配系統(tǒng)的定位精度。

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此外，當前獲得復雜微小精密零件的超精密加工方法主要有兩種，一種是微機電系統(tǒng)技術(MEMS)，另外一種是從傳統(tǒng)機械制造技術發(fā)展而來的微細制造技術。
無論采用哪種技術，都需要先進的測量裝置及方法，因為零件加工精度的提高對測量水平的提高具有嚴格的依賴性。
微小精密零件在結(jié)構(gòu)形式、構(gòu)件材料和加工工藝等方面具有以下特點：
構(gòu)成材料主要是金屬、合金或者復合材料等非硅材料，這些材料具有優(yōu)秀的機械特性，如高強度、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高溫或耐腐蝕等，能在惡劣工況條件下正常工作。
微小精密零件廣泛存在于各種微小型系統(tǒng)，包括框架、壁、腔體、軸、槽、輪、孔系等多種結(jié)構(gòu)形式，市場需求量大。
指整體尺度在毫米級，很難利用常規(guī)方法加工的小型零件。
以準三維或三維的立體結(jié)構(gòu)為主的結(jié)構(gòu)形式，深寬比高或長徑比大。
結(jié)構(gòu)復雜，空間緊湊，各個部件之間存在確定的連接、傳動或裝配關系，對形狀和位置的精度要求非常高，對于零件表面的精密度要求較低，不一定要納入納米級別。